T/CSTM 01148-2024 電子級氨水

范圍
本文件規(guī)定了電子級氨水的分級與命名、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件、安全信息。
本文件適用于以工業(yè)級液氨和超純水為原料，經(jīng)純化制得的電子級氨水。主要用作集成電路(半導(dǎo)體)、印刷電路板等制程用化學(xué)品。
CAS號：1336-21-6
分子式：NH3·H2O
相對分子質(zhì)量：35.05(按2022年國際相對原子質(zhì)量)

術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。

分級及命名
電子級氨水分為I級、II級和III級共3個等級。I級電子級氨水標(biāo)記為：UP-I；II級電子級氨水標(biāo)記為：UP-II；III級電子級氨水標(biāo)記為：UP-III。
注：UP-II級和UP-III級主要用于半導(dǎo)體常規(guī)制程及高制程面板行業(yè)，UP-I級主要用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程行業(yè)。

技術(shù)要求
電子級氨水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。






試驗(yàn)方法
氨含量的測定
方法提要
采用電位滴定法，用鹽酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定樣品中的氨。
試劑和材料
鹽酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液：c(HCl)≈0.5mol/L。
儀器和設(shè)備
分析天平：感量為0.0001g。
電位滴定儀：按 GB/T 9725-2007，5, 儀器和裝置中規(guī)定，或具備同等構(gòu)造與精度的儀器。電極：按 GB/T 9725-2007 中規(guī)定的復(fù)合電極或玻璃-飽和甘汞電極。
測定步驟
量取60mL水于燒杯中，稱取約1g的樣品(精確至0.0001g)，用鹽酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定，電位隨滴定劑變化率dU/dV最大點(diǎn)為其滴定終點(diǎn)。
結(jié)果計(jì)算
氨(NH₃)含量(w)，按式(1)計(jì)算， 數(shù)值均以%表示：

式中：
V ——滴定試驗(yàn)溶液所消耗鹽酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積數(shù)值，單位為毫升(mL)；
C ——鹽酸標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液濃度的準(zhǔn)確數(shù)值，單位為摩爾每升(mol/L)；
M ——氨水摩爾質(zhì)量的數(shù)值，單位為克每摩爾(g/mo])[M(NH3)=17.03]；
m ——試樣質(zhì)量的數(shù)值，單位為克(g)。


京都電子KEM 自動電位滴定儀 AT-710S